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Laser-Widerstandsabgleichanlage

HTS800-Serie

Maschinenmerkmale

1. Von Han’s Laser selbst entwickeltes PMU-Messsystem mit einer Widerstandsmessgenauigkeit von bis zu ±0,05 %.

2. Von Han’s Laser selbst entwickeltes Abgleichsoftwaresystem, das mehrere Abgleichpfadmuster unterstützt.

3. Unterstützt den Abgleich von Parametern wie Widerstand, AC- und DC-Spannung sowie Strom.

4. Stabil und zuverlässig; abgeglichene Parameter bleiben hochstabil und driftfrei.

5. Geringe Betriebs- und Wartungskosten, hoher Gesamtwirkungsgrad und niedriger Energieverbrauch; mit integrierten Schutzfunktionen.

6. Integrierte CNC-Programmierfunktion zur schnellen Umsetzung kundenspezifischer Anforderungen.

Anwendungsbereiche

Laser-Widerstandsabgleichsysteme werden breit in Dünnschichtschaltungen und Präzisions-Dünnschichtwiderständen eingesetzt, einschließlich des Laserabgleichs von Dünnschicht-Widerstandswafern. Diese Dünnschichtwiderstände kommen in Präzisionselektronikschaltungen wie Kopplern, Filtern, Dämpfungsgliedern, Abschlusswiderständen und Verstärkern zum Einsatz.

Laser-Abgleichanlagen können für den Widerstandsabgleich von Dickschichtwiderständen und den Funktionsabgleich von Dickschichtschaltungen eingesetzt werden. Dickschichtschaltungen finden breite Anwendung in Industrie- und Leistungselektronik, Automobilelektronik, Sensorik und Messtechnik, Computer- und Kommunikationselektronik, Unterhaltungselektronik und Medizintechnik sowie in der Luft- und Raumfahrt und weiteren Bereichen.

Überblick

Der Laser-Widerstandsabgleich ist ein computergesteuerter Prozess, bei dem Widerstände mit einem Laserstrahl präzise geschnitten werden, um ihren Widerstandswert einzustellen. Gleichzeitig wird der Widerstand über ein Hochgeschwindigkeits-Messsystem in Echtzeit überwacht, wodurch ein präziser Widerstandsabgleich erreicht wird.

Technische Daten

Maschinenmodell		HTS800-RH / HTS801-RH
Lasersystem	Lasertyp	Faserlaser/UV-Laser
	Wellenlänge	1064 nm/355 nm
	Ausgangsleistung	20 W/1–4 W
	Wiederholfrequenz	1–100 kHz/1–500 kHz
	Pulsbreite	3–500 ns/<50 ns
Optisches System	Typ	Hochgeschwindigkeits-Galvanometer
	Typische Spotgröße	15–40 μm/6–15 μm
	Scanbereich	70 × 70 mm/30 × 30 mm
	Scanauflösung	1 μm
	Wiederholgenauigkeit	±2 μm
Bildverarbeitungssystem	Koaxiale Überwachung	5-Megapixel-Industriekamera
Bildverarbeitungssystem	Paraxiale Positionierung (optional)	5-Megapixel-Industriekamera mit intelligenter Bildverarbeitungssteuerung
Arbeitstisch	Plattformtyp	Linearmotor mit Gittermaßstab
	X/Y-Bereich	300 × 300 mm
	Wiederholgenauigkeit	±2 μm
	Aufnahmetisch	Elektrische Verstellung, Drehbereich: ±5°
	Substratgröße für die Bearbeitung (kundenspezifisch anpassbar)	100 × 100 mm
Messsystem	Kompatibilität	Messungen im nieder-, mittel- und hochohmigen Bereich
	Messmethode	2-Leiter- oder 4-Leiter-Messung
	Widerstand	Bereich: 100 mΩ–100 MΩ
		Niederohmig: ±[0,05 % + 0,5 %/R (Ω)]
		Mittelohmig: ±0,05 %
		Hochohmig: ±[0,05 % + 0,05 % × R (MΩ)]
	Spannung	Bereich: -10 V bis +150 V
	Spannung	Endwertgenauigkeit 0,01 %
	Messkanäle	48 (erweiterbar auf 144)
	Messzeit	3 μs/Messung; entsprechend den Kundenanforderungen einstellbar
	Fehlerkompensation	Automatische Ein-Klick-Kalibrierung

Empfohlene Produkte

HTS800

HTS600-Serie

HTS300-RH

HTS500-RH

HTS900-Serie

HTS800-RA

HTS700-RH

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Vertrieb

+86-400-666-4000