Hochpräzises System zum Laser-Widerstandsabgleich

Maschinenmerkmale

1. Selbst entwickeltes PMU-Messsystem mit hoher Präzision, hoher Geschwindigkeit und hoher Konsistenz; Vollbereichsauslegung und Widerstandsabgleich.

2. Selbst entwickeltes Softwaresystem für den Widerstandsabgleich, das verschiedene Abgleichschnittformen unterstützt und kundenspezifische Anforderungen erfüllt.

3. Umfangreiche Funktionen für den Abgleich von Widerstand sowie AC/DC-Spannungs- und Stromparametern.

4. Hohe Stabilität und Zuverlässigkeit; keine Parameterdrift nach Abgleich und Korrektur.

5. Niedrige Betriebs- und Wartungskosten, geringer Energieverbrauch und hohe Effizienz.

6. Hohe Sicherheit durch Staubschutz, Antistatik, Ableitstromschutz und Personenschutzfunktionen.

7. Die Laser-Abgleichschnittformen umfassen Typ I, Typ II, Typ L, Typ U, Typ J, Typ M, Scan-Typ, Muster Typ I, Kerbschnitt Typ I, Kerbschnitt Typ L und Kerbschnitt Typ U.

Anwendungsbereiche

Das Lasertrimmsystem bietet mehrere Abgleichfunktionen. Es kann Dünnschicht-Widerstandsnetzwerke, Kondensatornetzwerke und keramikbasierte Dünnschicht-Integrationsbauteile trimmen sowie den Funktionsabgleich hybrider integrierter Schaltungen durchführen.

Beispiele:

1. Laserabgleich von Chip-Widerständen (01005, 0201, 0402, 0603, 0805, 1206, 1210, 2010, 2512);

2.Abgleich von Dickschichtschaltungen (für Anwendungen im mittleren und oberen Leistungssegment, darunter Automobilelektronik, Sensoren, integrierte Schaltungen für Luft- und Raumfahrt sowie Militärtechnik, Kommunikationselektronik, Messgeräte, Heizrohre, Industrieelektronik sowie hochfrequente Hochleistungs-Mikrowellenschaltungen);

3.Funktionsabgleich von Schaltungen (Abgleich von Ausgangsspannung, Strom und weiteren Funktionssignalen);

4.Lasertrimmen von Dünnschichtschaltungen, Dünnschichtwiderständen und weiteren Komponenten.

Überblick

Das Lasertrimmsystem fokussiert einen ultrafeinen Laserstrahl auf den Dickschichtwiderstand. Entsprechend vorprogrammierten Computeranweisungen trägt der Laserstrahl Material am Widerstand ab und verändert dadurch dessen Querschnittsfläche, um den Widerstandswert abzugleichen. Gleichzeitig überwacht ein Hochgeschwindigkeits-Messsystem den Widerstandswert in Echtzeit und führt ihn an den Sollwert heran. Sobald der Sollwert erreicht ist, wird der Laserstrahl abgeschaltet und damit ein präziser Laser-Widerstandsabgleich erzielt.

Technische Daten

Maschinenmodell	Hochpräzises System zum Laser-Widerstandsabgleich
Laser	Lasertyp	Faserlaser
	Zentrale Laserwellenlänge	1064 nm
	Ausgangsleistung	20 W
	Wiederholfrequenz	1-100 kHz
	Pulsbreite	3-500 ns
	Typische Fokuspunktgröße	15-40 μm
Strahlpositionierung	Scanbereich	70 mm×70 mm
	Scanauflösung	1 μm
	Wiederholpositioniergenauigkeit	±1 μm
Bildverarbeitung	Koaxiales Überwachungssystem	500 W pixel monitoring camera
Arbeitstisch	Bewegungsplattform	Linearmotor mit optischem Linearmaßstab
	Verfahrbereich	200 mm×300 mm
	Wiederholpositioniergenauigkeit	±2 μm
	Max. Verfahrgeschwindigkeit	1000 mm/s
Messsystem	Kompatibilität des Messsystems	Kompatibel mit Messungen niedriger, mittlerer und hoher Widerstände
	Messverfahren	Zweileitermessung oder Vierleitermessung
	Widerstandsmessung	Bereich 50 mΩ–100 MΩ
		Niederohmig: ±[0,05 % + 0,5 %/R (Ω)]
		Mittlerer Widerstand: ±0,05 %
		Hochohmig: ±[0,05 % + 0,05 % × R (MΩ)]
	Spannungsmessung	Bereich: -10 V bis +50 V
	Spannungsmessung	Messgenauigkeit über den gesamten Bereich: 0,01 %
	Messkanäle	48–288 (48 Kanäle pro Panel, erweiterbar)
	Messzeit	2 μs/Messung, entsprechend den Kundenanforderungen einstellbar
	Fehlerkompensation	Ein-Tasten-Autokalibrierung

Prozesseffekte

Chip resistor adjustment

Thick film circuit

Circuit function adjustment

Thin film circuit

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